Die richtige Wahl der Vakuumpumpe muss beachtet werden

1. Der Arbeitsdruck der Vakuumpumpe sollte den Anforderungen an das Endvakuum und den Arbeitsdruck der Vakuumanlage entsprechen. Wenn zum Beispiel ein Vakuumtrocknungsprozess ein Arbeitsvakuum von 10 mmHg erfordert, sollte der Vakuumgrad der ausgewählten Vakuumpumpe mindestens 2 mmHg, vorzugsweise bis zu 1 mmHg betragen. Das Endvakuum der Pumpe wird gewöhnlich so gewählt, dass es eine halbe Größenordnung höher ist als das Vakuum der Vakuumanlage.

2. Wählen Sie den Arbeitspunkt der Vakuumpumpe richtig aus. Jede Pumpe hat einen bestimmten Arbeitsdruckbereich, z. B .: Arbeitsdruckbereich der Wasserring-Vakuumpumpe der Serie 2BV: 760 mmHg ~ 25 mmHg (absoluter Druck). In einem so weiten Druckbereich ändert sich das Pumpendrehzahl der Pumpe mit dem Druck (siehe Pumpe für detaillierte Änderungen ) Die Leistungskurve), sein stabiler Arbeitsdruckbereich ist 760 ~ 60mmHg. Daher sollte der Arbeitspunkt der Pumpe innerhalb dieses Bereichs gewählt werden und sie sollte nicht für längere Zeit bei 25 ~ 30 mmHg arbeiten.

3. Unter dem Arbeitsdruck sollte die Vakuumpumpe in der Lage sein, das gesamte während des Prozesses der Vakuumanlage erzeugte Gas zu entfernen.

4. Kombinieren Sie die Vakuumpumpen ordnungsgemäß. Da die Vakuumpumpe ein selektives Pumpen hat, kann eine Pumpe manchmal die Pumpanforderungen nicht erfüllen, und mehrere Pumpen müssen kombiniert werden, um sich zu ergänzen, um die Pumpanforderungen zu erfüllen. Beispielsweise hat eine Titansublimationspumpe eine hohe Pumpgeschwindigkeit für Wasserstoff, kann jedoch nicht gepumpt werden, und eine dreipolige Sputterionenpumpe (oder eine zweipolige asymmetrische Kathodensputterionenpumpe) hat eine bestimmte Pumpgeschwindigkeit für Argon. In Kombination hat das Vakuumgerät ein besseres Vakuum. Darüber hinaus können einige Vakuumpumpen nicht unter atmosphärischem Druck arbeiten und benötigen ein Vorvakuum. Ein Teil des Ausgangsdrucks der Vakuumpumpe ist niedriger als der atmosphärische Druck, und die Vorpumpe wird benötigt. Daher müssen die Pumpen kombiniert werden.

5. Anforderungen an die Ölverschmutzung durch Vakuumgeräte. Wenn die Ausrüstung unbedingt ölfrei sein muss, sollten Sie eine Vielzahl ölfreier Pumpen auswählen, z. B .: Wasserringpumpe, Molekularsiebadsorptionspumpe, Sputterionenpumpe, Kryopumpe usw. Wenn die Anforderungen nicht streng sind, Sie können sich für eine Ölpumpe entscheiden und einige Maßnahmen zur Ölverschmutzung, wie das Hinzufügen von Kühlfallen, Leitblechen, Ölfallen usw., können ebenfalls saubere Vakuumanforderungen erfüllen.

6. Die Zusammensetzung des zu pumpenden Gases verstehen. Das Gas enthält keinen kondensierbaren Dampf, keinen Partikelstaub und keine Korrosivität. Bei der Auswahl einer Vakuumpumpe müssen Sie die Gaszusammensetzung kennen und die geeignete Pumpe für das gepumpte Gas auswählen. Wenn das Gas Dämpfe, Partikel und ätzende Gase enthält, installieren Sie möglicherweise zusätzliche Geräte wie Kondensatoren, Staubsammler usw. in den Einlassleitungen der Pumpe.

7. Wie wirkt sich der aus der Vakuumpumpe austretende Öldampf auf die Umwelt aus? Wenn die Umgebung keine Kontamination zulässt, können Sie eine ölfreie Vakuumpumpe wählen oder den Öldampf nach außen ablassen.

8. Die Vibration, die bei Betrieb der Vakuumpumpe erzeugt wird, hat keine Auswirkungen auf den Prozess und die Umgebung. Wenn dies nicht möglich ist, wählen Sie eine vibrationsfreie Pumpe oder ergreifen Sie Maßnahmen gegen Vibrationen.

9. Preis, Betriebs- und Wartungskosten der Vakuumpumpe.